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Formfactor/Cascade HPD 4K 低溫探針臺-超導設備測試測量

產品詳情


產品簡介

HPD 4 K 低溫晶圓探針臺是一種高精度全自動探針臺,適用于 4 K 環境中的 150 毫米和 200 毫米晶圓。為了加速商用量子和超導計算機的實現,我們為芯片開發人員提供了智能迭代設計所需的工具。 4 K 低溫晶圓探測器集成了可配置的 DC 和 RF 電纜,以及可用于測試配置的最大靈活性的定制探針卡。具有集成磁屏蔽的穩健設計提供了必要的穩定環境條件,以確保為最敏感的超導設備提供最高質量的數據。全自動晶圓裝載和復雜的Velox軟件套件允許進行高吞吐量測試和無人值守操作,以快速獲取數據。 FormFactor 的長期探測專業知識和數十年的精密低溫經驗在該系統中相結合,將超導設備測試和測量從實驗室帶入晶圓廠。


產品特性

  • 晶圓溫度驗證 <4.5 K(44 個射頻探頭接觸)

  • 磁場抑制<200 nT

  • 高度均勻的晶圓溫度

  • 精確的熱穩定性和控制

  • 堅固的花崗巖底座結構可實現精確的運動和振動控制

  • 輕松更換可定制的探針卡

  • 全自動或手動晶圓裝載選項

  • 用于手動、半自動或全自動探測的完整軟件套件

產品應用

量子計算

超導芯片開發

量子信息科學


規格參數

晶圓尺寸

150毫米和200毫米

行程

+/- 112 mm XY, 0 - 13 mm Z, +/- 10°Theta   

運動分辨率

<1 μm XYZ,<0.0001°Theta

XY速度

25mm /s   

顯微鏡

50 mm XYZ,分辨率<3 μm   

最低溫度

晶片溫度<4.5 K,有44個射頻探頭接觸

測量通道

56 RF連接(最高18ghz)520DC   

晶片容量

25片,晶片之間的交換時間小于15分鐘

靜止磁場

<200 nT   



產品參考 下載


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