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OptiFIB Taipan系統

OptiFIB Taipan系統
產品詳情


產品簡介

Thermo Scientific OptiFIB Taipan 系統是一款強大的聚焦離子束電路編輯系統,專注于優化10nm工藝節點。其具有最高的成像分辨率和切割精度、最高的離子束定位精度、低系統漂移,因而具備更高的成功率和生產率。OptiFIB Taipan 系統還具有獨特的以電路編輯為核心的化學反應和軟件自動化,以進一步提升使用性。

電路編輯技術提供了納米加工能力,可以在集成電路制造過程的各個點對微小的設計修正,為開發人員創建少量功能芯片,并解決可靠性問題。


產品特性

  • 超高的FIB分辨率成像和低電流離子束銑削

  • Super-SED具有更高的信噪比和端點靈敏度

  • 獨特的同軸離子-光子束流柱

  • 先進的氣體輸送系統

  • 先進的支持行業經驗證的PIAscan引擎   


產品應用

失效分析

微組裝


規格參數

FIB Column

Ion-Photon Coaxial Taipan column forbackside and frontside circuit edits

FIB image resolution

2.7 nm @250 fA and 30 kV

(Thermo Scientific graphite sample)

Acceleration voltage

0.5–30 kV

Beam current

250 fA–20 nA

Stage travel (X,Y,Z)

75 mm x 75 mm x 20 mm

Beam stability/driftcontrol

4 nm/min

Conductor resistivity

200 μΩ?cm

Insulator resistivity

1E15 μΩ?cm



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