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Apreo 2 SEM掃描電子顯微鏡

Apreo 2 SEM掃描電子顯微鏡
產品詳情


產品簡介

新的 Thermo Scientific Apreo 2 SEM 經擴展可訪問高性能成像以及針對所有級別顯微鏡專業知識的分析。憑借 Thermo Scientific ColorSEM 技術,一種獨特的實時元素成像功能,可以通過最直觀的界面隨時獲得組分信息。ColorSEM 技術消除了與典型 EDS 實施相關的所有麻煩,為您提供前所未有的結果時間和易用性。

憑借 Thermo Scientific SmartAlign 技術(一種光學系統、可以自己對齊),Apreo 2 SEM 對用戶和實驗室管理人員提出了更小的要求。此外,Apreo 2 SEM 采用 Thermo Scientific FLASH 技術,可實現圖像微調過程的自動化。FLASH 技術對鏡頭居中、消像散器和圖像的最終焦點執行任何必要的校正。這些技術的組合意味著電子顯微鏡的新用戶可以獲得 Apreo 2 SEM 的高端性能。此外、Apreo 2 SEM 是唯一一款在 10 mm 分析工作距離具備 1 納米分辨率的 SEM。


產品特性

  • 范圍廣泛的樣品類型

  • 實時定量 EDS

  • 長工作距離

  • SmartAlign 技術


產品應用

半導體失效分析


規格參數


Apreo 2S

Apreo 2C

分辨率

1 kV 下 0.9 nm

1 kV 下 0.8 nm(光束減速)

1 kV 下 1.0 nm、工作距離為 10 mm (光束減速)

500 kV 下 0.8 nm(光束減速)

200 kV 下 1.2 nm(光束減速)

1 kV 下 1.2 nm

1 kV 下 1.0 nm(光束減速)

500 kV 下 1.2 nm(光束減速)

標準檢測器

ETD、T1、T2、T3、IR-CCD、Nav-Cam+

ETD、T1、T2、IR-CCD、Nav-Cam+

可選檢測器

DBS、LVD、DBS-GAD、STEM 3+、RGB CLD、EDS、EBSD、WDS、拉曼、EBIC 等。

著陸能量范圍

20 eV – 30 keV

載物臺偏倚(光束減速)

-4000 V 至 +600 V 標準(每個系統)

低真空模式

可選:10 – 500 Pa 腔室壓力

載物臺

5-軸電動共心載物臺,110 x 110 mm2,105° 傾斜范圍。最大樣品重量:未傾斜位置,5 kg。

最大射束電流

50 nA(也可配置為 400 nA)

腔室

340 mm 內寬,12 個端口,最多三個同步 EDS 檢測器(兩個在 180° 處)、共面 EDS/EBSD 與載物臺的傾斜軸正交



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