其他賬號登錄: 注冊 登錄
150mm探針臺200mm探針臺300mm探針臺大功率探針臺硅光探針臺低溫探針臺探針與針座探針臺功率放大器場強測量電波暗室混響室OTA測試暗室橫電磁波室GJB151A/B標準測試RTCA DO-160G標準測試電磁兼容民用設備測試系統電磁兼容測試失效分析測試設備半導體封裝設備信號源頻譜分析儀/信號分析儀矢量網絡分析儀功率探頭&功率計示波器阻抗調諧器電源直流測試誤碼儀采樣示波器光源光開關光濾波器光衰減器光功率計光譜儀光波元器件分析儀時鐘恢復(CDR)光波長計OTDR光芯片測試系統測試儀器儀表Maury Microwave射頻微波測試附件國產射頻微波測試附件電磁兼容測試附件FormFactor/Cascade探針臺測試附件測試附件THz在片測試系統WAT測試系統高壓在片測試系統光電在片測試系統硅光在片測試系統射頻在片測試系統失效分析在片測試系統在片負載牽引測試系統直流在片測試系統自動測試軟件晶圓在片測試系統AM3200系列Pulsed IV測試系統MT1000/MT2000 系列有源負載牽引測試系統電源自動測試系統多通道超寬帶信號生成和測試解決方案數據采集系統設備微波射頻前端半實物協同仿真平臺無源-有源混合負載牽引測試系統射頻微波測試系統和解決方案電波暗室GTEM橫電磁波室混響室OTA測試暗室汽車整車及零部件EMC測試系統電磁兼容民用設備測試系統電磁兼容測試系統和解決方案維修租賃現貨代測行業資訊社會新聞公司簡介聯系我們招賢納士

Metrios DX TEM掃描/透射電子顯微鏡

Metrios DX TEM掃描/透射電子顯微鏡
產品詳情


產品簡介

Metrios DX是一款80-200kV掃描/透射電子顯微鏡,可提供基于TEM和S/TEM的可重復成像、分析和測量的計量結果,具有前所未有的吞吐量水平。

Thermo Scientific Metrios DX TEM結合了經過驗證的技術和創新的新功能,是半導體和存儲環境的首選平臺,應對越來越復雜的結構和收縮的幾何形狀,具備大尺寸的精確測量能力。

除了新的硬件,Metrios DX TEM還配備了新的軟件功能,以改善數據傳輸速度。靈活的圖像采集(FIT+)可以在任何類型的結構上實現自動化,不需要任何測試程序修改。用戶可以在多個樣品上定義感興趣的TEM、S/TEM和EDS采集區域,FIT+將自動獲取數據。同時Metrios DX TEM收集數據并上傳到Image Viewer數據庫。Metrios DX TEM的設計具有前所未有的易用性,是經驗豐富的顯微鏡專家和新用戶的理想選擇。靈活的用戶界面允許全自動化計量和采集、半自動化操作或手動數據采集。自動圖像采集與自動計量相結合,極大地提高了數據精度。


產品特性

  • 超穩定、高亮度肖特基場發射槍(X-FEG),確保高亮度和高發射電流   

  • 對稱物鏡,有5.6毫米寬的極片間隙

  • Thermo Scientific Constant Power Lens,模式切換的熱穩定性更高

  • 全數字系統,智能攝像頭

  • 計算機化的5軸樣品壓電平臺,精確存儲樣品位置


產品應用

半導體失效分析


規格參數

tension range

80-200 keV

Electron source

X-FEG

TEM information limit

0.11 nm

Probe corrector option

No

Yes

STEM resolution at 200kV (nm)

0.164

0.083

STEM resolution at 80kV (nm)

0.31

0.136

EDS collection angle(shadowing removed)

1.8 srd

STEM detectors

HAADF/BF/DF2/DF4

Camera

Ceta 4k × 4k CMOS



成都信賽賽思科技有限公司
公司地址:成都市金牛區金科南路25號前鋒西線國際501號
郵政編碼:610000
客服郵箱:sales@semishine.com
服務電話:028-61362386