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PHEMOS-1000 微光顯微鏡

PHEMOS-1000 微光顯微鏡
產品詳情


產品簡介

PHEMOS-1000是一款高分辨率的微光顯微鏡,通過偵測半導體缺陷引起的微弱的光發射和熱發射來準確定位半導體器件的失效位置。

設備既可以與通用型探針臺組合使用,也可搭載濱松Tilt Stage配合Nano Lens進行動態失效分析。PHEMOS-1000支持從Probe Card到12英寸大尺寸晶圓的多種任務和應用范圍需求。


產品特性

  • 激光掃描系統

  • 高靈敏度近紅外相機進行光發射分析(根據客戶樣品特點對不同波長范圍的光發射探測可以選配不同型號相機,InGaAs, C-CCD, Si-CCD, Emmi-X)

  • 高靈敏度中紅外Thermal相機進行熱分析

  • 激光誘導阻值變化分析(OBIRCH)

  • Nano Lens 進行高分辨率、高靈敏度分析

  • 連接測試機進行動態分析


產品應用

半導體失效分析


規格參數

供電電壓

AC200 V (50 Hz/60 Hz)

功耗

Approx. 1400 VA (Max. 3300 VA)

真空需求

Approx. 80 kPa or more

壓縮空氣需求

0.5 MPa to 0.7 MPa

尺寸/重量

Main unit: 1340 mm (W)×1200 mm (D)×2110 mm (H), Approx.

1500 kg

Control rack: 880 mm (W)×820 mm (D)×1542 mm (H), Approx.

150 kg

Operation desk: 1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx.

45 kg



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