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Quadra系列X射線檢測系統

Quadra系列X射線檢測系統
產品詳情


產品簡介

Nordson DAGE的X射線檢測系統專為PCB和半導體行業設計,并且采用了符合人體工程學的設計,可提供高分辨率納米級焦距X射線系統,不僅可用于故障分析實驗室,也可用于生產環境。

獨一無二的DAGE NT密封傳送型X射線管是DAGE NT X射線檢測系統的核心部件。其取代了早期系統中使用的閉合式管和開放式管,性能得到了很大的提升。只有采用密封傳送型射線管才能切實提高X射線圖像的分辨率,同時還能提供大功率,而不影響分辨率和放大率。

Quadra系列X射線檢測儀擁有超越了光學成像的成像效果,能夠無損地檢查設備和組件內部的模糊區域,高性能X射線管和探測器,可識別100納米以下的特征,放大倍數可達68000倍。

產品特性

  • 六硼化鑭(LaB6)發射源

  • 分辨到產品100nm細節處的功能,可以確保圖像明亮、清晰和穩定

  • Aspire FP 探測器可以以30fps捕獲6.7MP的圖像

  • 兩個4K UHD 顯示器

  • 無油離子泵真空設計,無需換油

產品應用

失效分析

晶圓測試


規格參數


Quadra3

Quadra5

Quadra7

X-Ray Tube

Quadra NT filament free transmissive

Feature recognition

0.95μm

0.35μm

0.95μm above 10W

0.10μm

0.30μm above 10W

Tube target power

10W

10W(20W Optional

20W

Voltage

30-160kV

Detector

AspireFP Flat Pannel Detector

Resolution

1.4 MP

3 MP

6.7MP

Frame rate

10 fps

25 fps

30 fps

Digital image processing

16 bit

Inspection area

510 x 445 mm (20 x 17.5”)

Anti-vibration

Passive

AXiS - Active X-ray Image Stabilization

Geometric magnification

Up to x 2,000

Up to x 2,500

Total magnification

Up to x 7,500

Up to x 45,000

Up to x 68,000

Display

24”WUXGA

1920 x 1200

24” WUXGA

1920 x 1200

Twin 24”4K UHD

3840 x 2160



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