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AD2000T 全自動劃片機

AD2000T 全自動劃片機
產品詳情


產品簡介

AD2000T 全自動劃片機是綜合了水氣電、空氣靜壓高速主軸、精密機械傳動、傳感器及自動化控制等技術的精密數控設備。主要用于硅集成電路,發光二極管,鈮酸鋰,壓電陶瓷,砷化鎵,藍寶石,氧化鋁,氧化鐵,石英,玻璃,陶瓷,太陽能電池片等材料的劃切加工。利用高能激光束照射在工件表面,使被照射區域局部熔化、氣化、從而達到劃片的目的。


產品特性

良好地使用隔間內所有的元件與選擇性單元,以達到最佳化間隔

標準軸轉速最高可達60000rpm

兩光學切割機組單元

全球最小的刀片間距


產品應用

硅片切割、劃片

硅片清洗

UV膜粘性去除


規格參數

最大工作尺寸

Φ 12inch, 305mm

主軸

轉速

60000rpm

功率

1.8kW

X軸

切割范圍

310mm

最大速度

1000mm/sec

Y1/Y2

切割范圍

310mm

最大速度

300mm/sec

分辨率

0.078μm

精度

0.002mm/310mm

Z1/Z2

行程

34mm

最大速度

80 mm/sec

分辨率

0.002μm

重復精度

0.001 mm

θ

轉動范圍

380°



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