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WAT測試系統

WAT測試系統
產品詳情


產品簡介

WAT測試系統,即晶圓允收測試(Wafer Acceptance Test),是半導體晶圓在完成所有制程工藝后,針對晶圓上的電路結構進行電性能測試。

通過對WAT數據的分析,我們可以發現半導體制程工藝中的問題,幫助制程工藝進行調整。


典型配置

  • 4200A-SCS 參數分析儀

  • SMU 2600B 系列 SourceMeter

  • 探針臺測試系統


產品應用

  • 高阻抗應用的 C-V 測量

  • VCSEL 測試

  • 納米級設備檢定

  • 材料電阻率

  • MOSFET 檢定

  • 激光二極管 (VCSEL) 生產測試

  • LED 簡化的 I/V 檢定

  • IDDQ 測試與待機電流測試

  • 高度同步、多針、多通道、少主機生產系統



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